Hexachlordisilan

chemische Verbindung

Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Strukturformel
Strukturformel von Hexachlordisilan
Allgemeines
Name Hexachlordisilan
Andere Namen
  • 1,1,1,2,2,2-Hexachlordisilan
  • Disiliziumhexachlorid
  • HCDS
Summenformel (SiCl3)2
Kurzbeschreibung

farblose Flüssigkeit[1]

Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 13465-77-5
EG-Nummer 236-704-1
ECHA-InfoCard 100.033.353
PubChem 83497
Wikidata Q15546028
Eigenschaften
Molare Masse 268,89 g·mol−1
Aggregatzustand

flüssig[1]

Dichte

1,562 g·cm−3 (25 °C)[1]

Schmelzpunkt

2,5 °C[2]

Siedepunkt

144–145,5 °C[1]

Brechungsindex

1,475 (20 °C)[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung[1]
Gefahrensymbol

Gefahr

H- und P-Sätze H: 314
P: 280​‐​305+351+338​‐​310[1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet.
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). Brechungsindex: Na-D-Linie, 20 °C

Gewinnung und Darstellung

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Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane SinCl2n+2 mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.[2]

 

Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.[2]

 
 

Eigenschaften

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Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.[2]

Verwendung

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Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden.[3]

Einzelnachweise

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  1. a b c d e f g Datenblatt Hexachlorodisilane, 96% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 4. Januar 2014 (PDF).
  2. a b c d Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 669.
  3. Spezialchemie: Bau einer Spezialchemie-Anlage für Elektronikchips gestartet - Evonik Industries - Spezialchemie, abgerufen am 5. Januar 2014.