Physikalische Experimente zur Bestimmung der Eigenschaften der Oberfläche von Festkörpern benötigen besonders reinliche Bedingungen, bereits eine Monolage kann zu verfälschten Ergebnissen führen. In der Praxis hat sich verbunden damit der Begriff der Monozeit tmono verbreitet. Diese ist ein Maß für die Zeitdauer, in welcher der Festkörper an seiner Oberfläche noch nicht wesentlich durch Moleküle des in der Vakuumkammer zwangsläufig vorhandenen Restgases verunreinigt wurde. Sie beschreibt somit die zur Erlangung brauchbarer Ergebnisse zur Verfügung stehende Arbeitszeit. Die Monozeit ist definiert als Zeitdauer, in welcher sich eine vormals reine Festkörperoberfläche durch Restgasabscheidung mit einer Monolage bedeckt.

Die Definition der Monozeit geht davon aus, dass jedes auf die Oberfläche auftreffende Teilchen mit der Wahrscheinlichkeit 1 adsorbiert wird, also auf jeden Fall haften bleibt. Für die Abscheidung einer Monolage nmono gilt die Beziehung

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Dabei ist jad die flächenbezogene Adsorptionsrate und proportional zur Teilchenzahl n sowie zur mittleren Geschwindigkeit der sich niederschlagenden Moleküle, vgl. Maxwell-Boltzmann-Verteilung. Die Monozeit ist damit abhängig von der Temperatur T sowie dem im System herrschenden Druck p, es gilt die Beziehung

Daneben ist die Monozeit natürlich ein materialspezifischer Parameter, abhängig von der Stoffkombination aus Adsorbens (Oberfläche) und Adsorbat (Restgas). Mit der allgemeinen Gaskonstante R, der Teilchendichte nmono, der molaren Masse Mmolar (siehe molare Masse) sowie der Avogadrozahl NA gilt:

Wie deutlich die Druckabhängigkeit in Erscheinung tritt, sieht man an folgendem Zahlenbeispiel typischer Monozeiten: Bei einem Druck von 10−6 mbar wird größenordnungsmäßig eine Monolage pro Sekunde abgeschieden, im Ultrahochvakuum bei 10−11 mbar liegt die Monozeit bereits im Bereich von 24 Stunden.