Cobaltdisilicid

chemische Verbindung

Cobaltdisilicid ist eine chemische Verbindung des Cobalts aus der Gruppe der Silicide.

Kristallstruktur
Kristallstruktur von Cobaltdisilicid
__ Co2+     __ Si
Allgemeines
Name Cobaltdisilicid
Andere Namen
  • Kobaltsilizid
  • Cobaltdisilicid
Verhältnisformel CoSi2
Kurzbeschreibung

grauer geruchloser Feststoff[1]

Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 12017-12-8
EG-Nummer 234-616-8
ECHA-InfoCard 100.031.457
Wikidata Q4162124
Eigenschaften
Molare Masse 115,11 g·mol−1
Aggregatzustand

fest[1]

Dichte

5,3 g·cm−3[1]

Schmelzpunkt

1277 °C[1]

Löslichkeit

praktisch unlöslich in Wasser[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1]
08 – Gesundheitsgefährdend 07 – Achtung

Gefahr

H- und P-Sätze H: 334​‐​315​‐​319​‐​317​‐​335
P: 285​‐​261​‐​280​‐​305+351+338​‐​405​‐​501 [1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Gewinnung und DarstellungBearbeiten

Cobaltdisilicid kann durch Reaktion von Cobalt mit Silicium gewonnen werden.[2]

 

EigenschaftenBearbeiten

Cobaltdisilicid ist ein grauer, geruchloser Feststoff, der praktisch unlöslich in Wasser ist.[1] Er besitzt eine kubische Kristallstruktur vom Fluorittyp mit der Raumgruppe Fm3m (Raumgruppen-Nr. 225)Vorlage:Raumgruppe/225.[2]

VerwendungBearbeiten

Cobaltdisilicid wird vielfältig in der chemischen Forschung eingesetzt.

In der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik wird Cobaltsilicid für die niederohmige Kontaktierung von Silicium bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltkreisen (VLSI) in 250-nm- bis 90-nm-Technik verwendet.[1] Es löste zunächst das gängige Titandisilicid ab, wurde dann ab dem 90-nm-Technologieknoten aufgrund von physikalischen Nachteilen zunehmend durch Dinickelsilicid ersetzt (siehe Salicide-Prozess).

Verwandte VerbindungenBearbeiten

Neben Cobaltdisilicid sind mit dem orthorhombischen Co2Si, dem kubischen CoSi und dem kubischen CoSi3 mindestens drei weitere Cobaltsilicide bekannt. Zwei weitere, Co5Si3 und Co3Si, sind noch nicht genau untersucht.[3]

EinzelnachweiseBearbeiten

  1. a b c d e f g h i Datenblatt Cobalt silicide, 99% (metals basis) bei AlfaAesar, abgerufen am 5. Juli 2016 (PDF) (JavaScript erforderlich).
  2. a b Lih J. Chen, Institution of Electrical Engineers: Silicide Technology for Integrated Circuits. IET, 2004, ISBN 978-0-86341-352-0, S. 78 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  3. E. G. Rochow: The Chemistry of Silicon Pergamon International Library of Science, Technology, Engineering and Social Studies. Elsevier, 2013, ISBN 978-1-4831-8755-6, S. 1360 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).