Diskussion:Hydridgasphasenepitaxie

Letzter Kommentar: vor 14 Jahren von 87.160.47.127

Falsche Benennung?!!!!

Ich kenn mich mit Gaspasenepitaxie nicht wirklich aus, ich bin über die Elektronenmikroskopie zu GaN gekommen, aber heißt HVPE wirklich "hydride vapor phase epitaxy"??? Meiner Meinung nach ist HVPE das selbe wie HCVD "halide chemical vapor deposition" mit "halide" für Halogen, in diesem Fall Chlor. Vergleiche dazu den wiki-Eintrag zu MOVPE und dem dazugehörigen Synonym MCVD (siehe auch "Complete composition tunability of InGaN nanowires using a combinatorial approach", nature materials VOL 6 DECEMBER 2007, Seite 951 ff). Oder sind "halide" und "hydride chemical vapor deposition" das selbe? Wenn ja wäre das sehr unlogisch, denn in der MOVPE wird ja auch mit dem Hydrid TrimethylGallium als precurser-Gas gearbeitet. der Unterschied zu HVPE ist ja gerade Die Reaktion mit dem Chlorid! (nicht signierter Beitrag von 87.160.47.127 (Diskussion | Beiträge) 19:18, 11. Jan. 2010 (CET)) Beantworten